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E84無人搬運安全監控

電洽

因應無人搬運系統的需求，依據SEMI Standard的E84規範，確保搬運過程產品的安全性。

設備的Load Port端加裝E84 Controller判斷Load Port狀態，並透過E84 Sensor與搬運設備（如：OHT、AGV、RGV）交握，以確保上、下貨的安全性。